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기술소개

플라즈마(Plasma)란?
플라즈마란, 고체, 액체, 기체도 아닌 제4의 물질로 기체의 일부가 전리된 가스로 플라스마 속에는 자유전자, 양이온, 중성원자, 중성분자가 존재해 그들 사이에
끊임없는 상호작용을 일으키고 있는 상태
를 얘기합니다.
플라즈마 방식에는 온도에 따라 저온-고온으로 나뉘는데 당사가 사용하는
방식은 저온 플라즈마 - 대기압 플라즈마를 사용하여 VOCs및 냄새를
처리하는데 사용합니다.
대기압 플라즈마
정의 기체의 압력을 100 Torr 부터 대기압(760 Torr) 이상 까지 유지하면서 저온 플라즈마를 발생하는 기술을 의미한다.
특징 대기압 플라즈마 시스템의 특징은 화학적 라디칼 생성에서 다른 종류의 발생방식보다 월등히 높은 효율을 나타낸다.
구분 DBD(Dielectric Barrier Discharge)방전 시스템
응용분야 대기압 플라즈마 시스템은 고가의 진공 장비를 필요로 하지 않기 때문에 경제적이며 펌핑(pumping) 시간이 없고,
인라인 형태로 공정이 가능하므로 생산성을 극대화할 수 있는 플라즈마 시스템을 개발 할 수 있다. 대기압 플라즈마
시스템을 사용하는 응용분야로는 초고속 에칭& 코팅기술, 반도체 패키징, 디스플레이, 물질의 표면 개질 및 코팅
그리고 나노분말 생성, 유해가스 제거 및 산화성 기체의 생성 등 여러 응용분야가 있다.
환경기술 - 환경오염 가스 제거 기술
- 상 · 하수 처리 시 유해물질 제거 및 소독
- 이산화탄소 저감 기술
DBD 플라즈마의 경제적 실현

 

현재 DBD플라즈마의 실험 및 발생 면적은 대부분이 1mm 또는 0.5mm 정도로 굉장히 얇은 면적에 발생되어 상대적으로 유속이 빠르거나 유량이 많을 경우 적용하기가 어렵고 또한 발생비용 또한 적잖이 들었습니다.

 

플라즈마 활용 방법
  • 이온화된 플라즈마 상태에서 가스, 분진 냄새 등의 미립자들이 분해되며, 부가적 장치 인 집진용 콜렉타를 이용화여 분진 등을 제거 한 공기를 배출합니다.

  • 플라즈마 생성 시 발생되는 단원자(單原子) 들을 이용하여 산화력이 오존보다 강하여 화학적결합이 안정된 복합원소들도 쉽게 분해시킵니다.

  • 플라즈마 생성 시 발생되는 단원자들과 산소 원자가 결합하여 오존이 생성되며 오존의 강한 산화력은 탈취, 분해 및 살균작용이 매우 강하나 단원자 상태보다는 다소 떨어집니다.

플라즈마 방전 방식
글로우 방전 방식
  • ① 유전체(誘電體) 양단간에 양극과 음극의 고전압을 인가하면 높은 전기장이 발생 됩니다.
  • ② 기체내의 소량의 전자들이 전기장에 의해 양극 방향으로 가속이 되어 원자와 충돌하게 됩니다.
  • ③ 이때 충돌된 원자는 2차 자유전자(음이온)와 원자핵은 양이온으로 해리가 됩니다.
  • ④ 이렇게 발생된 2차 전자와 기존의 전자들은 재차 가속되어 원자들과 부딪쳐 원자들을 해리시키는 과정을 반복하게 됩니다.
  • ⑤ 이러한 이온화 과정이 연속적으로 일어나 음이온, 양이온, 중성의 기체 등이 섞여 있는 플라즈마가 형성이 되는 것입니다.
  • ⑥ 이런 상태에서 전자(음이온)는 양극으로 이동하게 되며, 양이온은 음극으로 이동되어 전류가 흐르게 되는 이치입니다.
  • ⑦ 두 전극간에 전류가 흐름으로써 전압은 일정부분 전압강하가 일어나게 됩니다.
  • ⑧ 플라즈마의 지속은 양이온이 음극과 부딪침으로써 2차 전자가 튀어 나오게 되고, 이 2차 전자가 다시 원자와 부딪치며
  • ⑨ 충돌됨으로 해리현상이 일어나며, 이 현상이 반복됨으로써 안정적인 플라즈마 상태가 유지되는 것입니다.
  • ⑩ 이 때 발생한 플라즈마 상태에 오염Gas를 투입하여 분해 한 뒤 정화된 가스를 자사특수개발필터에 전달하여 처리합니다.